Daftar parameter teknis mesin pelapis optik multilayer

Model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Ukuran ruang pelapis

1050 * 1250304 Stainless Steel.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Ukuran rongga yang dilapisi

Dukungan perlengkapan dari tanah 1680mm, cocok untuk pengoperasian rekayasa manusia.

Dukungan perlengkapan dari tanah 1468mm, cocok untuk pengoperasian rekayasa manusia.

Dukungan perlengkapan dari tanah 1510mm, cocok untuk pengoperasian rekayasa manusia.

1 Jenis lengkungan satu karya kerja, yang lebih besar untuk memenuhi kebutuhan pelanggan untuk keseragaman. Berputar 5-30R/menit, perubahan kecepatan tanpa langkah.

2 Plat Workpiece tipe tiga lengkung, rotasi planet ini, pada tingkat yang lebih besar untuk memenuhi kebutuhan pelanggan pada produksi. Berputar 5-30R/menit, perubahan kecepatan tanpa langkah.

Perlengkapan perkakas

Untuk empat bagian, sudut braket dapat disesuaikan dengan tingkat yang lebih besar untuk memenuhi kebutuhan pelanggan. Berputar 5-30R/menit, perubahan kecepatan tanpa langkah.

Jenis Arch Single Work, yang lebih besar untuk memenuhi kebutuhan pelanggan untuk keseragaman. Berputar 5-30R/menit, perubahan kecepatan tanpa langkah.

Jenis Arch Single Work, yang lebih besar untuk memenuhi kebutuhan pelanggan untuk keseragaman. Berputar 5-30R/menit, perubahan kecepatan tanpa langkah.

Sistem Vakum

Unit: Dip-12000 pompa difusi (Lai Bao), ZJY-300 2x-70 Root Pump, pompa mekanik, pemeliharaan pompa 2x-8. Pipa untuk 304 stainless steel.

Unit: Pompa difusi KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2x-70 Root Pump, pompa mekanik, pemeliharaan pompa 2x-8.

Unit: Pompa difusi KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Root Pump, pompa mekanik, pemeliharaan pompa 2x-8.

Unit: Pompa difusi KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70 Root Pump, pompa mekanik, pemeliharaan pompa 2x-8.

Ultimate Vacuum: Lebih baik dari 4 x PA 10-4.

Konfigurasi peralatan anti turbulensi, desain interlock keselamatan, manual, opsional otomatis.

sistem pemanas

Pipa pemanas pada mode pemanasan, kontrol PID, 350 C + 1.5 tertinggi.

Inflasi gas

Instrumen kontrol aliran massa gas atau katup pengisian daya penyesuaian halus manual.

Pemboman ionisasi vakum

DC 3KV, katoda batang 06kW (untuk pelapisan sebelum pembersihan sendiri benda kerja).

Sumber penguapan (opsional)

1 Telemark-270 Electron Gun (Impor), 6kW, Tekanan Tinggi 4KV-10KV Disesuaikan. Pemindaian, pemindaian, pemindaian melingkar dan pemindaian spiral. Fokus titik balok bagus, akurasi penentuan posisi tinggi, dan reproduktifitasnya bagus.

2 Gun Elektron Domestik (Zhen Hua): 6kW, tekanan tinggi 4 kV ~ 8kV dapat disesuaikan, dapat dengan bebas memilih gelombang segitiga, gelombang sinus, pemindaian gelombang persegi.

3: Six Hole Crucible Phi 38 * 20 atau empat lubang Crucible Phi 38 * 20 ditambah busur busur pusat 87 titik (untuk sejumlah besar bahan penguapan titik leleh rendah) atau empat poin dengan wadah 48 x 18.

Sumber ion (opsional)

1 RF (frekuensi radio) Sumber ion (impor).

2 Sumber ion Holzer 5KVA (Zhen Huachan), digunakan untuk elektroplating sebelum proses pembersihan atau pelapisan untuk membantu pelapisan, kondusif untuk meningkatkan indeks bias film, keteguhan, meningkatkan kepadatan film, adhesi.

Sistem Kontrol Ketebalan Film (Seleksi)

1. MDC-360 Perangkat Kontrol Kristal (diimpor) dapat menyimpan 1 ~ 99 Layer Proses Pelapisan Otomatis, 99 Jenis Data Program, Presisi 0,5%+1 Kesalahan Tetap. Perangkat kontrol kristal 2Telemark-880 (diimpor): Dapat menyimpan 1 hingga 99 lapisan proses pelapisan otomatis, 99 jenis data program. Presisi 0,5%+1 kesalahan tetap.

3.Telemark-820 Photocontroller (Impor): End spektrum penuh menggunakan teknologi analisis panjang gelombang multi, melalui transmisi pemantauan 370-870 mm (atau reflektansi) analisis kurva untuk menentukan akhir film. Presisi kontrol tinggi, dan kontrol panjang gelombang tunggal, kontrol otomatis dan kontrol manual dapat digunakan. Perangkat lunak perhitungan sistem Membran Macileod Tambahan, tingkat integrasi yang tinggi.

4. Telemark-820 Light Controller dengan pengontrol Telemark-880 dapat memenuhi film kristal dengan akurasi tinggi dan persyaratan pengulangan yang tinggi. Dengan komputer host dapat mewujudkan kontrol otomatis.

5 fotokontroler domestik (seperti tipe 9704 yang mendukung panjang gelombang monokromator 330 ~ 870 dll.) Disesuaikan, presisi dapat mencapai 1,5nm.

Perangkat yang dioperasikan dengan tangan

Dengan alas magnet, dapat ditempatkan di pintu ruang vakum dan kabinet kontrol posisi sewenang -wenang.